微电子实验室化学湿台腐蚀台
湿台整体采用德国磁白色PP板材料,经雕刻后组合焊接加工而成。每个清洗槽都可同时清洗腐蚀2个花篮。槽体材质具有良好的抗腐蚀抗酸性能。机械手在槽间的转换靠PLC来控制,美国导轨和机械手来满足工艺时序。设备操作过程全自动控制,人机界面为触摸屏,有安全保护故障代码,故障报警装置,全程PLC控制,触摸屏操作。大大节省人工工时,结构设计合理,外型美观。适合于高校化学实验室作实验设备,也可用于半导体微电子行业作清洗线。非标规格,具体规格依客户工艺确定。
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